| পর্যায়ের স্পেসিফিকেশন | |
| স্ট্যান্ডার্ড সরঞ্জাম | লেজার ইন্টারফেরোমিটার পর্যায় |
| পর্যায়ের ভ্রমণ | ≤১০৫ মিমি |
| ইলেকট্রন গান এবং ইমেজিং স্পেসিফিকেশন | |
| শটকি ফিল্ড এমিশন গান | ত্বরণ ভোল্টেজ ২০V~ ৩০kV সাইড সেকেন্ডারি ইলেকট্রন ডিটেক্টর এবং ইন-লেন্স ইলেকট্রন ডিটেক্টর |
| ছবির রেজোলিউশন | ≤১nm@১৫kV; ≤১.৫nm@১kV |
| বিম কারেন্ট ডেনসিটি | >৫৩০০ A/cm2 |
| ন্যূনতম বিম স্পট সাইজ | ≤২ nm |
| লিথোগ্রাফি স্পেসিফিকেশন | |
| ইলেকট্রন বিম শাটার | রাইজ টাইম< ১০০ ns |
| রাইটিং ফিল্ড | ≤৫০০x৫০০ um |
| ন্যূনতম একক এক্সপোজার লাইন প্রস্থ | ১০±২nm |
| স্ক্যান স্পিড | ২৫ MHz/ ৫০ MHz |
| গ্রাফিক্স জেনারেটর প্যারামিটার | |
| কন্ট্রোল কোর | উচ্চ-পারফরম্যান্স FPGA |
| সর্বোচ্চ স্ক্যান স্পিড | ৫০ MHz |
| D/A রেজোলিউশন | ২০-বিট |
| সমর্থিত রাইটিং ফিল্ড সাইজ | ১০ um~৫০০ um |
| বিম শাটার সাপোর্ট | ৫VTTL |
| ন্যূনতম ডেল টাইম ইনক্রিমেন্ট | ১০ns |
| সমর্থিত ফাইল ফরম্যাট | GDSIl, DXF, BMP, ইত্যাদি। |
| ফ্যারাডে কাপ বিম কারেন্ট পরিমাপ | অন্তর্ভুক্ত |
| প্রক্সিমিটি এফেক্ট কারেকশন | ঐচ্ছিক |
| লেজার ইন্টারফেরোমিটার পর্যায় | ঐচ্ছিক |
| স্ক্যান মোড | সিকোয়েন্সিয়াল (জেড-টাইপ), সার্পেন্টাইন (এস-টাইপ), স্পাইরাল এবং অন্যান্য ভেক্টর স্ক্যান মোড |
| এক্সপোজার মোড | ফিল্ড ক্যালিব্রেশন, ফিল্ড স্টিচিং, ওভারলে এবং মাল্টি-লেয়ার অটোমেটিক এক্সপোজার সমর্থন করে |
| এক্সটার্নাল চ্যানেল সাপোর্ট | ইলেকট্রন বিম স্ক্যানিং, স্টেজ মুভমেন্ট, বিম শাটার কন্ট্রোল এবং সেকেন্ডারি ইলেকট্রন ডিটেকশন সমর্থন করে |
|
|
লেজার ইন্টারফেরোমিটার পর্যায় লেজার ইন্টারফেরোমিটার পর্যায়: একটি উন্নত লেজার ইন্টারফেরোমিটার পর্যায় যা বৃহৎ-স্ট্রোক, উচ্চ-নির্ভুল স্টিচিং এবং ওভারলের প্রয়োজনীয়তা পূরণ করে |
|
ফিল্ড এমিশন গান উচ্চ-রেজোলিউশন ফিল্ড এমিশন গান লিথোগ্রাফি মানের জন্য একটি গুরুত্বপূর্ণ গ্যারান্টি |
|
|
|
গ্রাফিক্স জেনারেটর আল্ট্রা-উচ্চ রেজোলিউশনপ্যাটার্ন অঙ্কন করে এবং একই সাথে আল্ট্রা-হাই-স্পিড স্ক্যানিং নিশ্চিত করে |
| A63.7010 VS Raith 150 Two | ||
| ডিভাইস মডেল | OPTO-EDU A63.7010 (চীন) | Raith 150 Two (জার্মানি) |
| ত্বরণ ভোল্টেজ (kV) | ৩০ | ৩০ |
| ন্যূনতম বিম স্পট ব্যাস (nm) | ২ | ১.৬ |
| পর্যায়ের আকার (ইঞ্চি) | ৪ | ৪ |
| ন্যূনতম লাইন প্রস্থ (nm) | ১০ | ৮ |
| স্টিচিং নির্ভুলতা (nm) | ৫০(৩৫nm) | ৩৫ |
| ওভারলে নির্ভুলতা (nm) | ৫০(৩৫nm) | ৩৫ |