logo
Opto-Edu (Beijing) Co., Ltd. 0086-13911110627 sale@optoedu.com
OPTO-EDU A63.7010 EBL Electron Beam Lithography Machine

OPTO-EDU A63.7010 EBL ইলেক্ট্রন বিম লিথোগ্রাফি মেশিন

  • বিশেষভাবে তুলে ধরা

    ইবিএল ইলেকট্রন বিম লিথোগ্রাফি মেশিন

    ,

    ইলেকট্রন বিম লিথোগ্রাফি স্ক্যানিং মাইক্রোস্কোপ

    ,

    OPTO-EDU A63.7010 লিথোগ্রাফি মেশিন

  • স্ট্যান্ডার্ড সরঞ্জাম
    লেজার ইন্টারফেরোমিটার স্টেজ
  • মঞ্চ ভ্রমণ
    ≤105 মিমি
  • ইমেজ রেজোলিউশন
    ≤1nm@15kV; ≤1.5nm@1kV
  • রশ্মি বর্তমান ঘনত্ব
    >5300 A/cm2
  • ন্যূনতম বিম স্পট আকার
    ≤2 nm
  • ইলেক্ট্রন বিম শাটার
    ওঠার সময় < 100 ns
  • উৎপত্তি স্থল
    চীন
  • পরিচিতিমুলক নাম
    CNOEC, OPTO-EDU
  • সাক্ষ্যদান
    CE,
  • মডেল নম্বার
    A63.7010
  • দলিল
  • ন্যূনতম চাহিদার পরিমাণ
    1 পিসি
  • মূল্য
    FOB $1~1000, Depend on Order Quantity
  • প্যাকেজিং বিবরণ
    শক্ত কাগজ প্যাকিং, রপ্তানি পরিবহন জন্য
  • ডেলিভারি সময়
    180 দিন
  • পরিশোধের শর্ত
    টি/টি, ওয়েস্ট ইউনিয়ন, পেপাল
  • যোগানের ক্ষমতা
    5000 পিসি/মাস

OPTO-EDU A63.7010 EBL ইলেক্ট্রন বিম লিথোগ্রাফি মেশিন

OPTO-EDU A63.7010 EBL ইলেক্ট্রন বিম লিথোগ্রাফি মেশিন 0
 
OPTO-EDU A63.7010 EBL ইলেক্ট্রন বিম লিথোগ্রাফি মেশিন 1
পর্যায়ের স্পেসিফিকেশন
স্ট্যান্ডার্ড সরঞ্জাম লেজার ইন্টারফেরোমিটার পর্যায়
পর্যায়ের ভ্রমণ ১০৫ মিমি
ইলেকট্রন গান এবং ইমেজিং স্পেসিফিকেশন
শটকি ফিল্ড এমিশন গান ত্বরণ ভোল্টেজ ২০V~ ৩০kV সাইড সেকেন্ডারি ইলেকট্রন ডিটেক্টর এবং
ইন-লেন্স ইলেকট্রন ডিটেক্টর
ছবির রেজোলিউশন ১nm@১৫kV; ১.৫nm@১kV
বিম কারেন্ট ডেনসিটি >৫৩০০ A/cm2
ন্যূনতম বিম স্পট সাইজ ২ nm
লিথোগ্রাফি স্পেসিফিকেশন
ইলেকট্রন বিম শাটার রাইজ টাইম< ১০০ ns
রাইটিং ফিল্ড ৫০০x৫০০ um
ন্যূনতম একক এক্সপোজার লাইন প্রস্থ ১০±২nm
স্ক্যান স্পিড ২৫ MHz/ ৫০ MHz
গ্রাফিক্স জেনারেটর প্যারামিটার
কন্ট্রোল কোর উচ্চ-পারফরম্যান্স FPGA
সর্বোচ্চ স্ক্যান স্পিড ৫০ MHz
D/A রেজোলিউশন ২০-বিট
সমর্থিত রাইটিং ফিল্ড সাইজ ১০ um~৫০০ um
বিম শাটার সাপোর্ট ৫VTTL
ন্যূনতম ডেল টাইম ইনক্রিমেন্ট ১০ns
সমর্থিত ফাইল ফরম্যাট GDSIl, DXF, BMP, ইত্যাদি।
ফ্যারাডে কাপ বিম কারেন্ট পরিমাপ অন্তর্ভুক্ত
প্রক্সিমিটি এফেক্ট কারেকশন ঐচ্ছিক
লেজার ইন্টারফেরোমিটার পর্যায় ঐচ্ছিক
স্ক্যান মোড সিকোয়েন্সিয়াল (জেড-টাইপ), সার্পেন্টাইন (এস-টাইপ), স্পাইরাল এবং অন্যান্য ভেক্টর স্ক্যান মোড
এক্সপোজার মোড ফিল্ড ক্যালিব্রেশন, ফিল্ড স্টিচিং, ওভারলে এবং মাল্টি-লেয়ার অটোমেটিক এক্সপোজার সমর্থন করে
এক্সটার্নাল চ্যানেল সাপোর্ট ইলেকট্রন বিম স্ক্যানিং, স্টেজ মুভমেন্ট, বিম শাটার কন্ট্রোল এবং সেকেন্ডারি ইলেকট্রন ডিটেকশন সমর্থন করে
 
OPTO-EDU A63.7010 EBL ইলেক্ট্রন বিম লিথোগ্রাফি মেশিন 2
OPTO-EDU A63.7010 EBL ইলেক্ট্রন বিম লিথোগ্রাফি মেশিন 3

লেজার ইন্টারফেরোমিটার পর্যায়

লেজার ইন্টারফেরোমিটার পর্যায়: একটি উন্নত লেজার ইন্টারফেরোমিটার পর্যায় যা বৃহৎ-স্ট্রোক, উচ্চ-নির্ভুল স্টিচিং এবং ওভারলের প্রয়োজনীয়তা পূরণ করে

ফিল্ড এমিশন গান

উচ্চ-রেজোলিউশন ফিল্ড এমিশন গান লিথোগ্রাফি মানের জন্য একটি গুরুত্বপূর্ণ গ্যারান্টি

OPTO-EDU A63.7010 EBL ইলেক্ট্রন বিম লিথোগ্রাফি মেশিন 4
OPTO-EDU A63.7010 EBL ইলেক্ট্রন বিম লিথোগ্রাফি মেশিন 5

গ্রাফিক্স জেনারেটর

আল্ট্রা-উচ্চ রেজোলিউশনপ্যাটার্ন অঙ্কন করে এবং একই সাথে আল্ট্রা-হাই-স্পিড স্ক্যানিং নিশ্চিত করে


A63.7010 VS Raith 150 Two
ডিভাইস মডেল OPTO-EDU A63.7010 (চীন) Raith 150 Two (জার্মানি)
ত্বরণ ভোল্টেজ (kV) ৩০ ৩০
ন্যূনতম বিম স্পট ব্যাস (nm) ১.৬
পর্যায়ের আকার (ইঞ্চি)
ন্যূনতম লাইন প্রস্থ (nm) ১০
স্টিচিং নির্ভুলতা (nm) ৫০(৩৫nm) ৩৫
ওভারলে নির্ভুলতা (nm) ৫০(৩৫nm) ৩৫
OPTO-EDU A63.7010 EBL ইলেক্ট্রন বিম লিথোগ্রাফি মেশিন 6
 
OPTO-EDU A63.7010 EBL ইলেক্ট্রন বিম লিথোগ্রাফি মেশিন 7
 
OPTO-EDU A63.7010 EBL ইলেক্ট্রন বিম লিথোগ্রাফি মেশিন 8
 
OPTO-EDU A63.7010 EBL ইলেক্ট্রন বিম লিথোগ্রাফি মেশিন 9