| এ৬৩।7080, A63.7081 সফটওয়্যার প্রধান ফাংশন | ||
| হাই ভোল্টেজ ইন্টিগ্রেটেড কমিশনিং | স্বয়ংক্রিয় ফিলামেন্ট চালু / বন্ধ | সম্ভাব্য শিফট নিয়ন্ত্রণ |
| উজ্জ্বলতা সমন্বয় | বৈদ্যুতিক থেকে কেন্দ্রীয় নিয়ন্ত্রণ | স্বয়ংক্রিয় উজ্জ্বলতা |
| বিপরীতে সামঞ্জস্য | লেন্সের সামঞ্জস্য | অটো ফোকাস |
| বৃহত্তরীকরণ সমন্বয় | লক্ষ্যবস্তু ডিগ্যাসিং | স্বয়ংক্রিয় অ্যাসটিগমাটিজম নির্মূল |
| নির্বাচিত এলাকা স্ক্যানিং মোড | বৈদ্যুতিক ঘূর্ণন সামঞ্জস্য | মাইক্রোস্কোপ পরামিতি পরিচালনা |
| পয়েন্ট স্ক্যানিং মোড | ইলেকট্রন রশ্মি স্থানচ্যুতি সমন্বয় | স্ক্যানিং ক্ষেত্রের আকারের রিয়েল টাইম প্রদর্শন |
| লাইন স্ক্যানিং মোড | ইলেকট্রন রশ্মির প্রান্তিকতা সামঞ্জস্য | বন্দুকের লেন্স সামঞ্জস্য |
| পৃষ্ঠের স্ক্যান | স্ক্যানিং গতি সামঞ্জস্য | মাল্টিচ্যানেল ইনপুট |
| উচ্চ ভোল্টেজ পাওয়ার মনিটরিং | সুইং সেন্টারিং | রুলার পরিমাপ |
| এসইএম | এ৬৩।7069 A63.7069-L A63.7069-LV |
এ৬৩।7080 A63.7080-L |
এ৬৩।7081 |
| রেজোলিউশন | 3nm@30KV ((SE) 6nm@30KV ((BSE) |
1.5nm@30KV ((SE) 3nm@30KV ((BSE) |
1.0nm@30KV(SE) 3.0nm@1KV(SE) 2.5nm@30KV ((BSE) |
| বৃহত্তরীকরণ | 1x~450000x,নেতিবাচক সত্যিকারের বৃহত্তরীকরণ | ১x~৬০০০০০x, নেগেটিভ ট্রু ম্যাগনিফিকেশন | 1x~3000000x নেগেটিভ ট্রু ম্যাগনিফিকেশন |
| ইলেকট্রন বন্দুক | প্রাক-কেন্দ্রিক টংস্টেন ফিলামেন্ট কার্টিজ | শটকি ফিল্ড এমিশন বন্দুক | শটকি ফিল্ড এমিশন বন্দুক |
| ভোল্টেজ | ত্বরণ ভোল্টেজ ০।2 | ||