গ্লাস প্রক্রিয়াকরণ চেম্বার: ∮100mm; 130mm উচ্চ।
--Specimen মঞ্চ আকার: ∮40mm (6 নমুনা কাপ রাখা)
- গোল্ডেন লক্ষ্য আকার:
∮58mm * 0.12mm (বেধ)
- ভ্যাকুয়াম সনাক্তকরণ: Pirani গেজ
- ভ্যাকুয়াম সুরক্ষা: মাইক্রোস্কল মুদ্রাস্ফীতি ভালভ সঙ্গে 20 পয়সা
--মেডিয়াম গ্যাস: আর্গন গ্যাস বা আর্গন গ্যাস বিশেষ বায়ু প্রবেশদ্বার এবং গ্যাস মাইক্রোস্কুলে নিয়ন্ত্রিত।
A50.7011 আইন স্পুতার কোটার |
ভ্যাকুয়াম চেম্বার | Dia 100mm * H130mm |
স্পেসিমেন পর্যায় | দিয়া 40 মিমি (6 স্পেসিমেন কাপ ধরে রাখুন) |
গোল্ড sputtering টার্গেট | দিয়া 58mm * 0.12 মিমি (বেধ) |
ভ্যাকুয়াম গেজ | পিরাণী গেজ |
ভ্যাকুয়াম পাম্প | ঘূর্ণন ভেন পাম্প: 2L / গুলি |
ভ্যাকুয়াম সুরক্ষা পয়েন্ট | Microscale মুদ্রাস্ফীতি ভালভ সঙ্গে 20Pa |
কাজ গ্যাস | আর্গন গ্যাস বা আকাশ গ্যাসের বিশেষ বায়ু প্রবেশদ্বার এবং গ্যাসের সাথে বায়ু |
ভোল্টেজ sputtering | 1.6KV |
মোট ওজন | 48kg |
সম্মতি | সিই |